



| 项目 |
技术参数 | |
|---|---|---|
| 型号 |
鸿鹄3020LT | |
| 测量范围 |
300mm × 200mm × 75mm | |
| 光学系统 | CCD相机 |
2000W |
| 受光镜头 |
双倍率双远心镜头 | |
| 表面光源 |
四分区环光+间隙光(电动独立升降) | |
| 轮廓光源 |
远心平行底光 | |
| 同轴光源 |
内置同轴光 |
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| 视野范围 |
高精度测量模式 |
220mm × 150mm |
| 广视野测量模式 |
240mm × 170mm | |
| 测量精度 | 高精度(有拼接) |
±(1.8+L/200)μm |
| 高精度(无拼接) |
±1.0μm |
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| 广视野(有拼接) |
±(2.8+L/200)μm |
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| 广视野(无拼接) |
±2.0μm |
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| 重复精度 | 高精度(平台移动) |
±1.0μm |
| 高精度(不移动) |
±0.3μm |
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| 广视野(平台移动) |
±1.5μm |
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| 广视野(不移动) |
±0.6μm |
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| 载物平台 |
最大运行速度 |
300mm/s |
| X轴移动范围 |
215mm |
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| Y轴移动范围 |
145mm |
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| Z移动范围 |
75mm | |
| 光谱测量(选配) |
测量范围 |
210mm × 90mm |
| 工作距离 |
37mm | |
| 测量景深 |
±2mm |
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| 最大倾角 |
21° |
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| 测量精度 |
±(2.5+L/100)μm |
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| 探针测量(选配) |
测量范围 |
210mm × 90mm |
| 测量力 |
0.08N |
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| 测量精度 |
±(2.5+L/100)μm |
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| 卧式转台(选配) |
旋转角度 |
分辨率0.02°,范围360° |
| 旋转速度 |
0.2~2转/秒 |
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| 最大可测直径 |
φ50 |
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| 显示分辨率 | 0.1μm | |
| 测量系统 | GQuick CAD ++ | |
| 仪器重量 | 56kg | |
| 工作台承重 | 8kg | |
| 外形尺寸 | 590mm × 535mm × 730mm | |
| 供电电源 | 220V±10%,50Hz | |
| 显示器 | 外接24英寸LCD显示器 |
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| 工作环境 | 温度20±2℃,湿度20–80%,振动<0.002g/15Hz | |
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