



| 项目 |
技术参数 | |
|---|---|---|
| 型号 |
鸿鹄M3020 | |
| 测量范围 |
300mm × 200mm × 55mm | |
| 光学系统 | CCD相机 |
2000W彩色 |
| 受光镜头 |
单个高分辨率APO镜头 | |
| 轮廓光源 |
远心平行底光 | |
| 同轴光源 |
内置同轴光(标配) | |
| 视野范围 | 广视野测量模式 |
215mm × 145mm |
| 测量精度 | 广视野(无拼接) |
±1.0μm |
| 广视野(有拼接) |
±(1.8+L/200)μm | |
| 重复精度 | 广视野(平台未移动) |
±0.2μm |
| 广视野(平台移动) |
±1.0μm | |
| 载物平台 | 最大运行速度 |
300mm/s |
| X轴移动范围 |
215mm | |
| Y轴移动范围 |
145mm | |
| Z移动范围 |
50mm | |
| 显示分辨率 | 0.1μm | |
| 测量系统 | GQuick CAD++ | |
| 仪器重量 | 45kg | |
| 工作台承重 | 5kg | |
| 外形尺寸 | 590mm × 535mm × 730mm | |
| 供电电源 | 220V±10%,50Hz | |
| 显示器 | 外接24英寸LCD显示器 | |
| 工作环境 | 温度:20±2℃;湿度:20-80%(无凝结);振动:<0.002g 15Hz | |
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