产品特点:

● x、y、z轴三维测量● 可测梯度截面、深度● 点光谱、探针测量

• 测量范围: 200mm * 200mm *75mm
• 光学系统: 2000W黑白*2；双倍率双远心镜头；内置同轴光；
• 视野范围: 120mm * 150mm
• 测量精度: ± 1.0um
• 重复精度: ±0.3μm
• 光谱测量: 标配
• 探针测量: -
• 移动范围: 115mm * 145mm * 75mm
• 卧式转台: 选配
• 显示器: 24英寸LCD显示器
• 显示分辨率: 0.1μm
• 设备重量: 42kg
• 设备承重: 5kg
• 设备尺寸: 586mm * 435mm * 645mm
• 测量系统: GQuick CAD++
• 供应电源: 220V±10%，50Hz
• 工作环境: 温度：20±2℃；湿度：20-80%（无凝结）；振动：＜0.002g 15Hz
• 电脑: i7处理器，16G内存，512G固态硬盘，win10操作系统