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关于影像测量仪阶梯测量的误差

阶梯测量,即影像测量仪在元素不在同一平面的测量。 首先影像测量仪的基准面就是以玻璃水平面为准的。在测量的时候,是将两个元素投影到同一个平面进行测量。玻璃水平度越

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阶梯测量,即影像测量仪在元素不在同一平面的测量。

首先影像测量仪的基准面就是以玻璃水平面为准的。在测量的时候,是将两个元素投影到同一个平面进行测量。玻璃水平度越差,虽然同一平面的数据影响不大,但元素在不同面所形成的数据就会根据落差高度越大,数据误差越明显。

重要的是,影像本身做不了所谓的三坐标21项校正,哪怕是进行了对焦式的平面补正,前期我们讲到影像测量仪高度的不确定性,平面补正的能力也因此受限。那如何解决这样的问题呢?

只有一个方法:固定测量位置,然后进行单一数据补偿。首先玻璃各个测量位置的平整度都有变化,固定位置是首要条件,然后对单一数据进行补偿,以达到测量准确的效果。

高精度定位

实现 ±0.05μm 级别的轴向重复定位精度,确保测量过程稳定可靠。

多光谱成像

结合多波段成像能力,提升复杂材质与细微缺陷的识别效果。

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