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信552影像测量仪

信552影像测量仪

精密影像测量、稳定结构平台、多尺寸精准判定、品质检测可靠;以13.3X镜头、16X至232X倍率和更优XY精度,面向微小特征的精密测量。;13.3X镜头与16X至232X放大倍率,覆盖更细微特征;0.1 μm分辨率,XY精度为1.2+L/200至1.8+L/200 μm;大理石龙门与直线电机,XY最高速度500 mm/s;300×300至600×600×200 mm量程,兼顾精密件尺寸覆盖;

测量范围500mm*500mm
检测精度(1.6+L/200)μm

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