








| 项目 |
技术参数 | |
|---|---|---|
| 型号 |
鲲鹏2020 | |
| 测量范围 |
200mm × 200mm × 75mm | |
| 光学系统 | CCD相机 |
2000W黑白*2 |
| 受光镜头 |
双倍率双远心镜头 | |
| 表面光源 |
四分区环光+间隙光(电动独立升降) | |
| 轮廓光源 |
远心平行底光 | |
| 同轴光源 |
外置同轴光(选配) | |
| 视野范围 | 高精度测量模式 |
135mm × 155mm |
| 广视野测量模式 |
200mm × 200mm | |
| 测量精度 | 高精度(无拼接) |
±1.5μm |
| 高精度(有拼接) |
±(2.0+L/200)μm | |
| 广视野(无拼接) |
±2.5μm | |
| 广视野(有拼接) |
±(4.0+L/200)μm | |
| 重复精度 | 高精度(平台不移动) |
±0.4μm |
| 高精度(平台移动) |
±1.2μm | |
| 广视野(平台不移动) |
±0.8μm | |
| 广视野(平台移动) |
±1.8μm | |
| 载物平台 | 平台类型 |
直线电机 |
| 最大运行速度 |
300mm/s | |
| X轴移动范围 |
115mm | |
| Y轴移动范围 |
145mm | |
| Z移动范围 |
75mm | |
| 卧式转台(选配) | 旋转角度 |
分辨率0.02°,范围360° |
| 旋转速度 |
0.2~2转/秒 | |
| 最大可测直径 |
φ50 | |
| 显示分辨率 | 0.1μm | |
| 测量系统 | GQuick CAD++ | |
| 仪器重量 | 42kg | |
| 工作台承重 | 5kg | |
| 外形尺寸 | 586mm × 435mm × 635mm | |
| 供电电源 | 220V±10%,50Hz | |
| 显示器 | 外接24英寸LCD显示器 | |
| 工作环境 | 温度:20±2℃,湿度:20-80%(无凝结),振动:<0.002g 15Hz | |
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