行业分类：半导体新材料

测量对象：激光陶瓷热沉，三层陶瓷复合结构（金属镀层+陶瓷基板+金属镀层）

工件说明

激光陶瓷热沉是一种结合了陶瓷材料和热沉设计的电子元件基板，主要用于高功率器件的散热。它通过高热导率材料将热量传导出去，降低器件的工作温度，是保证半导体激光器性能和可靠性的有效方法。

测量需求

该陶瓷热沉基板为三层结构，正反面金属镀层涂层与中间陶瓷基板各有9个镂空，需测量正反面金属镀层与中间陶瓷基板的高度，从而可以判断整体金属镀层是否平整；

因产品需要做全检，三坐标接触试测量时间太长，需要用新的测量方式加快测量。

测量设备

国谦智系列直线电机固定龙门影像仪

配置高精度点光谱共聚焦传感器（Z轴重复性≤0.3μm）

软件解决方案

因客户工件在单品切割存在公差，软件不能直接采用工件外观建立标准的坐标系，选择通过基板表面电路特征建立全局坐标系，解决同一型号工件批量测量问题。

测量结果

测量时间：20秒

客户点评：测量时间对比三坐标测量仪提升多倍，测量结果准确。